广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮分子泵
岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。
我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：
1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,
5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等
6、持续模拟生产现场测试24小时,
7、0-20KHz震动频谱加速度分析
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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的-种真空泵凹。其应用领域包括分析、半导体工业、光学、玻璃工业、涂层技术、真空冶炼、检漏技术、科研设备、照明用具行业等。
日本岛津磁悬浮TMP-4304分子泵保养对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M，岛津TMP-4304LMTC大流量分子泵，Shimadzu镀膜真空设备泵保养
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岛津公司在1875年创立，创业宗旨“以科学技术向社会做贡献”为原则，不断钻研科学技术，为社会开发生产具有高附加值的产品。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的-种真空泵凹。 分子泵(Turbo Molecular Pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。岛津分子泵有着世界高水准的排气能力，并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求
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